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在光伏次洼、半導(dǎo)體行業(yè)電子管生產(chǎn)中暴匠,光伏行業(yè)電子管陰極涂甫碳酸鹽莲轮。如其中混入雜質(zhì),就會(huì)影響電子的發(fā)射铜乱,進(jìn)而影響電子管的放大性能及壽命,因此其配液要使用純水。
在顯像管和陰極射線管生產(chǎn)中驱还,其熒光屏內(nèi)壁用噴涂法或沉淀法附著一層熒光物質(zhì),是鋅或其他金屬的硫化物組成的熒火粉顆粒并用硅酸鉀粘合而成凸克,其配制需用純水议蟆,如純水中含銅在8ppb以上,就會(huì)引起發(fā)光變色;含鐵在50ppb以上就會(huì)使發(fā)光變色触徐、變暗咪鲜、閃動(dòng)并會(huì)造成氣泡、條跡撞鹉、漏光點(diǎn)等廢次品疟丙。在黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)的12個(gè)工序中,玻殼清洗藻礁、沉淀聋遮、濕潤(rùn)、洗膜庆率、管頸清洗等5個(gè)工序需使用純水仪丛,每生產(chǎn)一個(gè)晶體管需高純水80kg。液晶顯示器的屏面需有純水清洗和用純水配液软殿,如純水中有金屬離子卒粮、微生物、微粒等雜質(zhì)骨惫,就會(huì)使液晶顯示電路發(fā)生故障钱挺,影響液晶屏質(zhì)量,導(dǎo)致報(bào)廢蜀勃、次品辣沧。顯像管、液晶顯示器生產(chǎn)對(duì)純水水質(zhì)的要求驼鳞。
在光伏行業(yè)晶體管哀铡、集成電路生產(chǎn)中,純水主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制抒痒,硅片氧化的水汽源幌绍,部分設(shè)備的冷卻水,配制電鍍液等故响。集成電路的產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)成品率關(guān)系很大纷捞。水中的堿金屬(K、Na等)會(huì)使絕緣膜耐壓不良被去,重金屬(Au主儡、Ag、Cu等)會(huì)使PN結(jié)耐壓降低惨缆,III族元素(B糜值、Al、Ga等)會(huì)使N型半導(dǎo)體特性惡化坯墨,V族素(P寂汇、As、Sb等)會(huì)使P型半導(dǎo)體特性惡化捣染,水中細(xì)菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20%~50%)會(huì)使P型硅片上的局部區(qū)域變化為N型硅而導(dǎo)致器件性能變壞免姻。水中的顆粒(包括細(xì)菌)如吸附在硅片表面,就會(huì)引起電路短路或特性變差豌泊。
1.水源的影響
由于水是一種溶解能力很強(qiáng)的溶劑,因此天然水中含有各種鹽類和化合物,溶有CO2, 還有膠體(包括硅膠和腐殖質(zhì)膠體),天然水中還存在大量的非溶解性質(zhì),包括粘土们灵、砂石、細(xì)菌怔于、微生物禀蜒、藻類、浮游生物姚详、熱源等槐猪。
2.材料的影響
制備超純水的材料設(shè)備的材質(zhì)都是用金屬和塑料制成的,金屬在水中會(huì)有痕量溶解,造成金屬離子污染。一些高分子材料,在合成時(shí)常常加入各種添加劑腮稚、增塑劑许食、紫外吸光劑、著色劑挽饺,也引入大量的金屬够菊、非金屬雜質(zhì),同時(shí)還會(huì)帶來有機(jī)污染卖氨。
材質(zhì)的污染主要以污染值來衡量会烙。所謂污染值是指:?jiǎn)挝幻娣e的材料使單位體積的純水電阻率的增加值负懦。表3分別列出了各種材料的污染值和TOC的溶出值筒捺。
工藝流程
杭州勵(lì)進(jìn)環(huán)保設(shè)備有限公司針對(duì)以上項(xiàng)目選用以下工藝:
原水箱→原水泵→加藥裝置→多介質(zhì)過濾器→加藥裝置→活性碳過濾器→全自動(dòng)軟化器→保安過濾器→一級(jí)高壓泵→一級(jí)反滲透系統(tǒng)→中間水箱→二級(jí)高壓泵→二級(jí)反滲透系統(tǒng)→純水箱→純水泵→TOC分解器→脫氣膜→精密過濾器→EDI裝置→純水箱→純水泵→拋光混床→膜過濾器→生產(chǎn)線用水點(diǎn)。
(此項(xiàng)目先進(jìn)、成熟系吭、出水水質(zhì)穩(wěn)定五嫂、系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定的反滲透+EDI脫鹽裝置作為系統(tǒng)的主脫鹽設(shè)備;系統(tǒng)運(yùn)行費(fèi)用低,易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化肯尺。反滲透水處理系統(tǒng)具有很好的經(jīng)濟(jì)性沃缘。)
工藝概述
預(yù)處理:主要是去除水中的有機(jī)物、懸浮物则吟、膠體槐臀、硬度和余氯等,以確保RO能正常工作氓仲。處理工藝采用多介質(zhì)過濾水慨、活性碳吸附,減少RO工作時(shí)產(chǎn)生垢物和藻類生長(zhǎng)及微生物污染及氧化劑敬扛。
預(yù)處理系統(tǒng)包括:原水箱现熔、原水泵、加藥系統(tǒng)滤躺、多介質(zhì)過濾展霸、活性碳過濾、軟化器屠途。
反滲透裝置: 反滲透裝置是該項(xiàng)目預(yù)脫鹽的心臟部分莺肌,經(jīng)反滲透處理的水,能去除絕大部分無機(jī)鹽带诊、有機(jī)物艾维、微生物等。設(shè)計(jì)的合理與否直接關(guān)系到項(xiàng)目的投資費(fèi)用杉朝、整個(gè)系統(tǒng)運(yùn)行的經(jīng)濟(jì)效益赠戏、使用壽命、操作的可靠簡(jiǎn)便性羹圣。反滲透膜均采用世界上最先進(jìn)的超低壓復(fù)合膜安粤,單根脫鹽率達(dá)99.8%。當(dāng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)溫度為20℃時(shí)拼岳,考慮到原水水質(zhì)變化以及膜的使用壽命等因素枝誊,本系統(tǒng)采用8英寸的復(fù)合RO膜,安裝在不銹鋼壓力容器內(nèi)惜纸∫度觯回收率:50%~75%,脫鹽率:98%耐版。RO系統(tǒng)回收率在50%~75%以上祠够,系統(tǒng)脫鹽率不小于98%压汪。在本項(xiàng)目中,考慮到設(shè)備的節(jié)能古瓤、運(yùn)行壓力止剖、膜的透過率、膜的脫鹽率落君、出水的含鹽量等因素穿香,我公司推薦采用美國(guó)海德能4040 型反滲透膜。
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